講習会 ―若手機械設計技術者のために― 精密位置決めの基礎と超精密位置決めへの適用事例
[協賛:精密工学会,計測自動制御学会,日本ロボット学会,日本設計工学会,日本歯車工業会,日本カム工業会]
【趣 旨】
光学機器や電子デバイスの製造プロセスにおいて高度な加工が要求されるようになり,位置決め装置にもサブミクロンからナノメートルオーダの精度が求められるようになってきました.高い精度の位置決めを実現し,かつ装置の高速化・ローコスト化を追求するためには,用途に応じて適切な案内方式を選択した上で,剛性の高い位置決め機構を設計することが必要となります.また,優れた機構を実現できたとしても,信頼できる変位センサや応答性の良いアクチュエータがなければ,高い精度の位置決め装置を開発することはできません.制御系の設計も,装置の性能を左右する重要な要素です.超精密位置決めを実現するためには,外乱振動や温度変動を排除するための環境制御も必要となります.
本講習会では精密位置決め機構の実現に不可欠な技術を,実例を交えて横断的に解説します.精密な動作を実現する機構の設計は,精密工作機械や半導体製造関連装置だけでなく,あらゆる機械装置を正確かつ滑らかに動かすために必要不可欠です.精密位置決め機構の設計開発に携わる技術者・研究者,先端技術を体系的に学びたい学生諸氏のみならず,幅広い分野からのご参加をお待ちしております.
また,今回の講習会では座学のみならず,関連分野の研究を行っている研究室の見学会を開催いたします.奮ってご参加下さいますようご案内申し上げます.
【題目・講師】
10.00~11.10 精密位置決めのための機構設計 大岩孝彰(静岡大学)
11.10~12.10 送りねじを用いた位置決め装置の設計 牧野内進(株式会社ニコン)
13.10~14.10 静圧ガイドを用いた位置決め機構の設計 吉本成香(東京理科大学)
14.10~15.10 超精密位置決めを支える計測技術 高偉・伊東聡(東北大学)
15.20~16.20 超精密位置決めのための制御系設計 藤本博志(東京大学)
16.20~17.20 超精密位置決めを実現するための環境制御 涌井伸二(東京農工大学)
17.30~18.30 研究室見学(電気電子工学専攻・涌井研,生物システム応用科学府・堤研)
18.30~19.30 技術交流会(※)
※技術交流会は,本講習会にお申し込みの方は無料でご参加いただけます.講師への技術相談等の場としてぜひご活用下さい.
【定 員】
60名,申込み先着順により定員になり次第締め切ります.
【申込方法】
本会ホームページ http://www.jsme.or.jp/kousyu2.htm よりお申し込みの上,聴講料をご送金下さい.FAXによるお申し込みの場合には http://www.jsme.or.jp/gyosan0.htm に掲載の行事申込書に必要事項を記入し,FAX〔03-4335-7617〕までお送り下さい.