第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
【併 催】
電気学会第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,応用物理学会第3回「集積化MEMSシンポジウム」
【協 力】
電気学会センサ・マイクロマシン部門,応用物理学会集積化MEMS技術研究会
【内容】
マイクロ・ナノ工学専門会議は,12部門が参加する分野横断的研究活動組織として活動を行ってきましたが,2012年4月から新しい部門としてスタートすることになりました.第3回目となる本シンポジウムは,第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,第3回集積化MEMSシンポジウムと併催で開催します.電気系,応用物理系の研究者・技術者とも研究交流ができる場でもありますので,皆様の積極的なご参加をお待ちしております.皆様の積極的なご参加をお待ちしております.詳細はシンポジウムHPをご覧下さい.