「マイクロ・ナノファブリケーション講習会
– エッチング加工によるマイクロ・ナノデバイス作製 -」

U R L 本会イベント情報を参照
企画 マイクロ・ナノ工学部門
開催日 2022年2月15日(火)～2月17日（木）
開催形態　オンライン開催（オンデマンド配信，ライブ配信（Zoom Meetingを利用））
※ミーティングIDとパスワード，電子ファイル教材についてのご連絡は，開催前日を予定しています。

◆趣旨：
マイクロ・ナノデバイスの開発において，基板のエッチング加工を利用したデバイス作製技術は重要な位置を占めており，世界中で広く用いられている。しかし，所望のデバイスを作製するためには加工法の基本原理と精密加工装置の活用方法の理解が必須であり，敷居の高さの１つの要因となっている。そこで，本講習会では，精密加工装置を活用したマイクロ・ナノデバイス作製プロセスの習得を狙い，本分野についての専門知識とノウハウを有する講師による微細加工技術の講習を行う。新川崎・創造のもりのナノ・マイクロ産学官共同研究施設「NANOBIC」の精密加工装置を例にとり，作製プロセスの基礎知識および装置の活用事例をオンラインで学ぶ。また、精密加工装置についての技術相談や交流会もオンラインで実施する。

◆プログラム：

2月15日（火）9:00～2月17日（木）16:30（オンデマンド配信）
【技術講演: 精密微細加工の原理と装置の活用事例】
発表　各60分 程度
「レーザー直接描画とフォトマスク作製」
東京工業大学　山本 貴富喜　准教授

「シリコンDRIE装置の原理と応用事例」
早稲田大学　関口 哲志　研究院教授

「高密度プラズマドライエッチング装置によるガラスエッチング」
東京工業大学　塚原 剛彦　教授

「ウエットエッチングの基礎と応用」
株式会社日立アカデミー　小出 晃　主任L&Dプランナ

「デバイス接合」
古賀総研　河野　顕臣　シニアエキスパート

2月17日（木）16:30～18:00（Zoom Meeting）
【精密加工装置の紹介および技術相談】

「NANOBICオープンラボにおける精密加工装置」
東京大学　三宅 亮　教授

◆定員：15名程度

◆申込締切：1月31日（月）

◆聴講料（すべて税込み価格）：
正員8,000円，会員外13,000円，学生員2,000円，一般学生5,000円
・上記参加費とは別に、システム⼿数料「220円（税込み）」をご負担いただきます。
・学生員から正員資格へ変更された方は、変更後3年間、本会講習会へ学生員価格にてご参加できます。申込フォームにて、「正員（学生員から正員への継続特典対象者）」を選択し、通信欄に[卒業年]と[学校名]を記載して下さい。
・特別員の資格（会員扱い）で行事に参加される場合，聴講料は正員の価格となります．下記申込先フォームの会員資格は「特別員」を選択し，「会員番号」に「行事参加料割引コード」（xxxxxxx-xxxx）をご記入下さい．
・「特別員行事参加無料券」を利用される場合，聴講料は無料となります．予め「特別員行事参加無料券（原本）」をご用意の上，「特別員」としてお申込みください．「無料参加券を利用する」と「コンビニ決済」を選択して申込完了後，担当職員まで「自動返信メール」「行事参加無料券（原本）」をご郵送ください．

◆申込方法：
・イベントペイより受付。イベントペイの導入について記載の注意事項を予めご一読の上， 以下のサイトより1名ずつお申込みください．

https://eventpay.jp/event_info/?shop_code=6791237415745854&EventCode=0064395537

一部行事におけるWeb決済システム（イベントペイ）の導入について | 一般社団法人 日本機械学会 (jsme.or.jp)

◆支払期限：
・必ず1月31日（月）までにご入金をお願いします。

◆お申し込みの際の注意事項：
・遠隔セミナー参加のための技術的なサポートはできませんので，ご了承下さい．
・参加者による，講習会の静止画/動画撮影，録⾳は禁止です。「レコーディング」ボタンで録音することは法律で禁止されています。
・当日の発表の⾳声，スライドの著作権は発表者に帰属します。
・必要なもの
-視聴用のパソコン（必須）
-スピーカーとマイク（質問をする際に必要となります）
-ウェブカメラ（PCに内蔵されているものでも構いません。必要に応じてご⽤意下さい）
-有線または無線ブロードバンドのインターネット接続 （必須）
・必ず機材の事前準備と動作確認をした上でご参加下さい。
・Zoomの事前テスト方法　https://zoom.us/test
・Zoomヘルプセンター　https://support.zoom.us/hc/ja

◆参加に関しての問合せ先：
日本機械学会　大通千晴　daitsu(at)jsme.or.jp 電話03-4335-7614

◆内容についての問合せ先：
内容に関するお問合せ : 嘉副 裕　kazoe(at)sd.keio.ac.jp 電話 045-566-1843